فناوری ساخت قطعات الکترونیکی: فناوری VLSI سیلیسیمی: اساس، روش‌های اجرا و مدل‌سازی
جیمز دی. پلامر، مایکل دی. دیل ، پیتر بی. گریفین
کتاب فناوری ساخت قطعات الکترونیکی: فناوری VLSI سیلیسیمی: اساس، روش‌های اجرا و مدل‌سازی نوشته جیمز دی. پلامر، مایکل دی. دیل و پیتر بی. گریفین، مرجع جامعی در مورد فرآیندهای ساخت نیمه‌هادی، با تمرکز بر مدارهای مجتمع سیلیکونی (VLSI) است. این کتاب که به زبان فارسی توسط مرتضی فتحی‌پور ترجمه شده است، برای دانشجویان و متخصصان رشته‌های الکترونیک، فیزیک و نانوفناوری، و همچنین محققان و مهندسان شاغل در صنعت نیمه‌هادی، منبعی ارزشمند به شمار می‌رود.
برخی از ویژگی‌های برجسته این کتاب عبارتند از:
ارائه جامع و عمیق: این کتاب تمام جنبه‌های کلیدی فرآیند ساخت VLSI، از جمله رشد بلور، اکسیداسیون، فتولیتوگرافی، رسوب لایه‌های نازک، حکاکی، اتصالات فلزی و آزمایش را پوشش می‌دهد.
استفاده از مثال‌های شبیه‌سازی‌شده: نویسندگان از مثال‌های شبیه‌سازی‌شده به‌طور گسترده‌ای در سراسر متن استفاده می‌کنند تا مفاهیم را روشن‌تر کرده و به خوانندگان در درک چگونگی عملکرد فناوری‌ها کمک کنند.
رویکرد حل مسئله: این کتاب بر حل مسئله به عنوان عنصری کلیدی در فرآیند طراحی و ساخت VLSI تأکید دارد.
پوشش به‌روز: این کتاب آخرین پیشرفت‌ها در فناوری VLSI را پوشش می‌دهد، از جمله ترانزیستورهای FinFET و حافظه‌های DRAM سه بعدی.
فهرست مطالب کتاب به شرح زیر است:
فصل ۱: مقدمه و تاریخچه
فصل ۲: فناوری نوین CMOS
فصل ۳: رشد بلور، ساخت قرص و ویژگی‌های اصلی قرص‌های سیلیسیمی
فصل ۴: کارخانجات نیمه‌هادی، اتاق‌های تمیز و نقش نگاری
فصل ۵: اکسایش گرمایی و فصل مشترک SI/SiO2
فصل ۶: نفوذ آلاینده‌ها
فصل ۷: کاشت یونی
فصل ۸: رسوب لایه‌های نازک
فصل ۹: زدایش
فصل ۱۰: فناوری پسین
فصل ۱۱: تست و قابلیت اطمینان
در مجموع، کتاب فناوری ساخت قطعات الکترونیکی منبعی ارزشمند برای دانشجویان و پژوهشگران مهندسی برق و کامپیوتر در مورد فرآیندهای پیچیده و ظریف ساخت نیمه‌هادی است.
